O alvo de molibdênio é um alvo de metal especial feito de molibdênio, usado principalmente em campos de alta tecnologia. O molibdênio, um metal branco prateado, é conhecido por seu alto ponto de fusão e boa condutividade elétrica e térmica, o que lhe permite permanecer estável em ambientes de alta temperatura ou alta pressão. Portanto, os alvos de molibdênio desempenham um papel importante na fabricação de semicondutores, na tecnologia de deposição de filmes finos, na indústria fotovoltaica e em equipamentos de imagens médicas. Os alvos de molibdênio podem ser produzidos por prensagem isostática a quente (HIP), fundição, deposição química de vapor (CVD) e deposição física de vapor (PVD). Cada método possui características e escopo próprios. Escolha a tecnologia de preparação apropriada. Depende do uso final do alvo de molibdênio necessário, do desempenho necessário e de considerações econômicas.
O suporte de cobre ligado não apenas melhora o desempenho do alvo, mas também ajuda a reduzir os custos operacionais, o que é especialmente importante para indústrias que dependem de processos de deposição de filmes finos estáveis e de longo prazo. Tem os seguintes benefícios:
1. Melhorar a eficiência da condutividade térmica: O cobre tem condutividade térmica extremamente alta (cerca de 400 W/m·K), que é muito maior que o molibdênio. A ligação do alvo de molibdênio à placa traseira de cobre pode melhorar significativamente a eficiência geral de condução de calor do alvo. Durante processos de revestimento de alta velocidade, isso ajuda a afastar o calor do alvo de molibdênio mais rapidamente, evitando assim o superaquecimento do alvo.
2. Reduzir o estresse térmico: Durante o processo de deposição, o estresse térmico no material alvo pode causar rachaduras e fraturas. A alta condutividade térmica da placa traseira de cobre ajuda a dispersar o calor uniformemente e reduz a concentração de tensão térmica no alvo de molibdênio, reduzindo assim os danos induzidos pelo calor.
3. Prolongar a vida útil: Ao reduzir o estresse térmico e melhorar a eficiência térmica, a placa traseira de cobre pode prolongar significativamente a vida útil do alvo de molibdênio. Esta combinação ajuda a evitar desgaste prematuro ou danos durante o uso, resultando em substituições menos frequentes e custos mais baixos a longo prazo.
4. Melhorar a estabilidade mecânica: A adição de placa de apoio de cobre também aumenta a estabilidade mecânica geral do alvo. Isto é especialmente importante durante processos de deposição de alta velocidade, pois ajuda a manter a integridade estrutural do alvo e a reduzir danos devido a choques mecânicos ou vibrações.
5. Forte adaptabilidade: Este método de ligação pode ajustar a espessura e a forma do backplane de cobre de acordo com diferentes requisitos de aplicação, proporcionando maior flexibilidade e adaptabilidade. Isso permite que os alvos de molibdênio atendam melhor aos requisitos de equipamentos e processos de deposição específicos.
