1. Pureza
A pureza do alvo de titânio tem grande influência nas propriedades dos filmes pulverizados. Quanto maior a pureza do alvo, menos partículas de elementos de impureza no filme pulverizado e melhor será o desempenho do filme (como resistência à corrosão, propriedades ópticas e elétricas). Em aplicações práticas, os requisitos de pureza dos alvos de titânio para diferentes finalidades são diferentes. . Por exemplo, os requisitos de pureza dos alvos para revestimentos decorativos em geral não são exigentes, enquanto os alvos para circuitos integrados, corpos de exibição e outros campos têm requisitos de pureza muito mais elevados, geralmente em torno de 99,999 por cento ou mais.
2. Tamanho médio de grão
Normalmente o alvo de titânio possui uma estrutura policristalina e o tamanho do grão pode variar de mícrons a milímetros. A taxa de pulverização catódica do alvo de grão fino é mais rápida do que a do alvo de grão grosso. A distribuição da espessura da película depositada por pulverização também é relativamente uniforme. O tamanho médio de grão dos alvos de titânio para circuitos integrados geralmente deve estar dentro de 30 μm, e o tamanho médio de grão dos alvos de titânio de granulação ultrafina é inferior a 10 μm.
3. Orientação do cristal
O titânio tem uma estrutura hexagonal compacta. Durante a pulverização catódica, os átomos alvo de titânio são facilmente pulverizados ao longo da direção do arranjo hexagonal dos átomos. Portanto, para atingir a taxa de pulverização mais alta, é possível aumentar a taxa de pulverização alterando a estrutura cristalina do alvo. taxa de pulverização catódica. A direção de cristalização do alvo de titânio também tem uma grande influência na uniformidade da espessura da camada de filme pulverizado, e o tamanho do filme da tela plana e do revestimento decorativo é relativamente espesso, portanto, os requisitos para a orientação dos grãos do alvo de titânio correspondente são relativamente baixo.
4. Geometria e tamanho
Isso se reflete principalmente na precisão e na qualidade do processamento, como tamanho de processamento, planicidade da superfície, rugosidade, etc. Pequenas espessuras afetarão a vida útil do alvo; superfície de vedação muito áspera e ranhura de vedação causarão problemas de vácuo após a instalação do alvo; tornar áspera a superfície de pulverização catódica do alvo pode tornar a superfície do alvo cheia de pontas salientes; sob a ação do efeito de ponta, o potencial dessas pontas elevadas aumentará bastante, quebrando assim a descarga dielétrica. No entanto, uma saliência excessivamente grande é prejudicial à qualidade e estabilidade da pulverização catódica.
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