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Alvo de pulverização de titânio
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Alvo de pulverização de titânio

Alvo de pulverização de titânio

FANMETAL fornece alvo de pulverização de titânio puro de 99,999 por cento. Pureza de 99,5% para 99,9999%. Atualmente, para o VLSI de 4-megabits, a pureza do titânio é necessária para atingir 4N5 (99,995 por cento) ~ 5N (99,999 por cento), enquanto o VLSI de terceira geração de 16 megabits requer a pureza do titânio para atingir nível 6N (99,9999 por cento).
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Product Details ofAlvo de pulverização de titânio

Alvo de pulverização de titânio

FANMETAL fornece alvo de pulverização de titânio puro de 99,999 por cento. Pureza de 99,5% para 99,9999%. Atualmente, para o VLSI de 4-megabits, a pureza do titânio é necessária para atingir 4N5 (99,995 por cento) ~ 5N (99,999 por cento), enquanto o VLSI de terceira geração de 16 megabits requer a pureza do titânio para atingir nível 6N (99,9999 por cento).

Nós também fornecemos o alvo de metal e material de evaporação para alta pureza 99,9999 por cento, alvo de metal precioso (Au, Ag, Pt), serviço de ligação de alvo, forros de cadinho (cobre, molibdênio, tungstênio etc)

Imagem do alvo de pulverização de titânio:

As principais aplicações do Titanium Sputtering Target incluem:

1. Materiais biológicos

O titânio é um metal não-magnético e não será magnetizado em um campo magnético forte. Tem boa compatibilidade com o corpo humano e não tem efeitos colaterais tóxicos. Ele pode ser usado para fabricar dispositivos de implantes humanos. Geralmente, os materiais médicos de titânio não atingem o nível de alta-pureza de titânio, mas considerando a dissolução de impurezas no titânio, a pureza do titânio para implantes deve ser a mais alta possível. A literatura também menciona que o fio de titânio de alta-pureza pode ser usado como material de amarração biológica. Além disso, a agulha de injeção de titânio com o cateter embutido também atingiu o alto-nível de titânio de pureza.


2. Materiais de decoração

O titânio de alta-pureza tem excelente resistência à corrosão atmosférica e não muda de cor após longo-uso na atmosfera, garantindo a cor original do titânio. Portanto, titânio de alta-pureza também pode ser usado como materiais de decoração de construção. Além disso, nos últimos anos, algumas decorações de alto-e alguns artigos de uso, como pulseiras, relógios e armações de óculos, são feitos de titânio, que utiliza as características de resistência à corrosão, descoloração, longa{{4} }manutenção a prazo de bom brilho e não-sensibilização em contato com a pele humana. A pureza do titânio usado em algumas decorações atingiu o nível 5N.


3. Material aspirado

O titânio, como um metal muito ativo com propriedades químicas, pode reagir com muitos elementos e compostos em altas temperaturas. O titânio de alta-pureza tem uma forte adsorção de gases ativos (como O2, N2, CO, CO2 e vapor de água acima de 650 graus). O filme de Ti evaporado na parede da bomba pode formar uma superfície com alta capacidade de adsorção. Essa propriedade faz com que o Ti seja amplamente utilizado como getter em sistemas de bombeamento de ultra-alto vácuo. Se usado em bombas de sublimação, bombas de íons de pulverização, etc., a pressão de trabalho final da bomba de íons de pulverização pode ser tão baixa quanto 10-9Pa.


4. Materiais informativos eletrônicos

Nos últimos anos, com o rápido desenvolvimento de campos de alta-tecnologia, como tecnologia de semicondutores e tecnologia da informação, a quantidade de titânio de alta-pureza usado em alvos de sputtering (consulte a Figura 1), circuitos integrados, DRAMs e telas planas aumentou. Os requisitos de pureza dos materiais estão ficando cada vez mais altos. Na indústria de semicondutores VLSI, compostos de silício de titânio, compostos de nitrogênio de titânio, compostos de titânio de tungstênio, etc. são usados ​​como barreiras de difusão e materiais de fiação para os eletrodos de controle. O método de sputtering é usado para fabricar esses materiais, e o alvo de titânio usado no método de sputtering requer alta pureza, especialmente para elementos de metais alcalinos e elementos radioativos.


Nos últimos anos, o equipamento de pulverização correspondente também começou a usar titânio de alta-pureza com a mesma pureza do alvo de titânio de pulverização.




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