Alvo de zircônio
Visão geral
Zirconium Target is widely used in the fields of sputtering coating, semiconductor manufacturing, optical coating, new energy, etc., with its excellent physical and chemical stability, corrosion resistance, high purity controllability, and adaptability to the needs of multiple fields. In the future, with the advancement of technology, its application potential in emerging fields such as nano-casacos e dispositivos quânticos continuarão a ser demonstrados .
ZR Sputtering Alvo Características
Bom desempenho de alta temperatura
O ponto de fusão do zircônio é tão alto quanto 1852 graus . pode manter uma estrutura física estável em um ambiente de alta temperatura e não é fácil derreter ou deformar .
Forte estabilidade química
O zircônio pode resistir à corrosão de uma variedade de ácidos fortes, álcalis fortes e água do mar à temperatura ambiente, e um denso filme de passivação de Zro₂ é facilmente formado na superfície para evitar mais corrosão .
Excelentes propriedades elétricas e ópticas
O zircônio pode conduzir a eletricidade e impedir que os íons metálicos se difundam . óxido de zircônio possui um alto índice de refração e pode ser usado para preparar revestimentos ópticos .
Forte desempenho de pulverização
A pureza geralmente pode atingir acima de 99 . 5%, e pode depositar filmes finos altamente uniformes . pode ser transformado em alvos de várias formas através de forjamentos, rolamentos e outros processos e é adequado para diferentes equipamentos de pulverização.
Dimensão alvo do zircônio
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Nota |
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Técnica |
Pressionamento isostático quente, refinamento de grãos, sinterização, forjamento, recozimento |
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Pureza |
99.95% |
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Grossura |
3mm -40 mm |
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Diâmetro |
50-300 mm |
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Ponto de fusão |
1857 grau |
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Densidade |
6,94g/cm3 |
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Forma |
Disco redondo |
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Superfície |
Polimento, moagem |
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Certificação |
ISO9001 |
Aplicativo
O alvo de gabinete de metal de zircônio é amplamente utilizado em microeletronics, a indústria de fabricação de semicondutores (preparação de eletrodos de porta e camadas de interconexão de metal), a indústria aeroespacial (componentes de alta temperatura e os materiais e os materiais de alta qualidade (flening} e o zingo de flembro), o fleno de fleol e o zimbro °) (fleming {de alta qualidade) e o zirclium splow metal. Materiais de haste de controle para reatores nucleares), o campo médico (partes alvo dos tubos de raios-X), ferramentas de fabricação mecânica (revestimentos resistentes ao desgaste) suprimentos decorativos (revestimentos estéticos decorativos) e outras indústrias .}
Processo
Nossa empresa produz alvos de zircônio de alta pureza através de prensagem de pó, fusão de alta temperatura, fundição de mofo, rolamento repetido, tratamento de polimento de superfície, controle rigoroso de qualidade e outros processos . A pureza e uniformidade do alvo estão alinhados com os requisitos de aplicações de alta tecnologia .}
1. metalurgia em pó (processo comum)
Pó: o zircônio esponja é transformado em pó de zircônio por esmagamento mecânico, hidrogenação-desidrogenação (HDH) e outros métodos .
Pressionando: o espaço em branco do alvo é obtido por prensagem isostática fria ou moldagem de compressão em um molde .
Sinterização: sinterização de alta temperatura em atmosfera a vácuo ou inerte para melhorar a densidade .
2. Método de fusão e fundição (aplicável a alvos de grande porte)
Mulbamento por arco a vácuo: os blocos de zircônio ou zircônio de esponja são derretidos em um forno de arco a vácuo para remover impurezas de gás e fundidos em lingotes .
Forjamento e rolagem: os lingotes são forjados a quente e rolados a frio para melhorar a orientação dos grãos e processá -los na forma desejada .
3. usinagem e tratamento de superfície
Cortado em tamanhos especificados, e a superfície é moída e polida para reduzir a rugosidade e evitar defeitos superficiais que afetam a uniformidade da pulverização .
4. inspeção e embalagem abrangentes de qualidade
Os filmes cuspidos por zircônio Z702 Sputter -alvo podem ser divididos nas seguintes categorias:
1. nitreto de zircônio (ZRN)
Cor: Amarelo dourado
Mecanismo de formação: O alvo de zircônio é cuspido em um ambiente de nitrogênio para gerar um revestimento de nitreto de zircônio (ZRN) . A cor dourada de Zrn vem principalmente das características de reflexão da luz de sua estrutura cristalina .}
APLICAÇÃO: O revestimento ZRN tem as características de alta dureza, boa resistência ao desgaste e resistência à corrosão, e é frequentemente usada em revestimentos decorativos, ferramentas de corte e moldes .
2. carbonitreto de carbono de zircônio (ZRCN)
Cor: Preto profundo
Mecanismo de formação: a pulverização dos alvos de zircônio em uma atmosfera mista de nitrogênio e metano para gerar um revestimento de carbonitro de carbono de zircônio (ZRCN) . aumentando o teor de carbono faz com que a mudança de cor de revestimento para preenchimento profundo, melhorando sua dureza e resistência ao desgaste .}}
Aplicação: o revestimento ZRCN é usado para ferramentas de corte de alto desempenho e peças mecânicas resistentes ao desgaste, fornecendo excelente desgaste e resistência à corrosão .
3. óxido de zircônio (zro₂)
Cor: transparente ou branco
Mecanismo de formação: o revestimento de PVD é realizado em um ambiente de oxigênio para formar um revestimento de óxido de zircônio (ZRO₂) . zro₂ possui excelente estabilidade térmica e propriedades de isolamento elétrico .
APLICAÇÃO: O revestimento ZRO₂ é amplamente utilizado em ambientes de alta temperatura, dispositivos eletrônicos e cerâmica médica .
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Alvo de Sputtering redondo de zircônio 702, alvo de zircônio para a Holanda
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Qualificação
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